德國Thyracont圖拉特VSL53D/54D真空表變送器Smartline
數字真空變送器VSL是專門為負載鎖定而開發的。金屬密封的真空測量設備采用了多傳感器技術，并將兩個壓電傳感器與一個皮拉尼傳感器結合在一起。因此，測量的壓力在1200…1e-4 mbar范圍內，相對于環境的相對壓力在-1060…+340 mbar范圍內。
概述用于負載鎖的VSL真空變送器：
集成的多傳感器系統：兩個壓電傳感器測量壓力和相對壓力，以監視腔/閘的泵送和通風過程。Pirani傳感器的測量范圍高達10 mbar，可控制負載鎖和處理室之間的低壓傳遞，以實現的處理純度。
簡而言之：差壓輸出可精確觸發開門功能
精確：高精度，分辨率和出色的穩定性
快速：響應時間短，高達40毫秒
穩定的測量值：得益于優化的溫度補償
與氣體類型無關：20 mbar以上的測量與氣體類型無關
繼電器開關點：兩個獨立的無電勢繼電器開關點
概述Smartline真空變送器：
大量的接口選擇：數字RS485接口加上0-10 V輸出信號，EtherCAT或Profinet。此外，藍牙適配器SLKBT支持無線通信
可更換的傳感器頭：帶有存儲的校準數據的可輕松更換的更換傳感器頭
調節簡單：只需按一下按鈕或通過界面即可調節零壓力和大氣壓
LED：用于狀態顯示和切換點
可擴展的輸出特性：0-10 V輸出信號可以根據所需的特性進行縮放。
因此，與制造商無關，可以輕松地進行現有真空規的更換，而無需進行編程工作。
如果要保留電纜但要更換變送器，則可以使用適配器（例如FCC68）。
適用于超高壓：由于采用金屬密封的不銹鋼測量元件，適用于超高壓（氦氣泄漏率<5e-10 mbar l / s）
堅固：耐腐蝕，符合EMC標準的金屬外殼，防護等級高達IP54
控制器：可以通過2通道控制器VD12或4通道控制器VD14進行擴展
VacuGraphTM Windows軟件：用于可視化，分析和存儲測量數據
| 測量原理 | 傳熱皮拉尼，壓阻 |
| 氣體類型依賴性 | 取決于氣體類型，與氣體類型無關（壓電） |
| 測量范圍毫巴 | 1200-1e -4 mbar（1200mbar-0.0001mbar)，相對壓力：-1060 ... +340 mbar（取決于環境壓力） |
| 測量范圍托 | 900-1e-4托，相對壓力：-795…+255托 |
| 過載 | 4個吸收 |
| 準確性 | 1200-40毫巴：0.3％fs | 40-2e-3 mbar：10％fr，相對壓力：測量范圍的0.25％ |
| 重復性 | 1200-40毫巴：0.1％fs | 40-1e-2毫巴：2％fr |
| 真空接觸材料 | 不銹鋼1.4307，鎢，鎳，玻璃，金，氧化硅 |
| 反應時間 | 40毫秒 |
| 工作溫度 | + 5 ... + 60°C |
| 儲存溫度 | -40 ... + 65°C |
| 烘烤溫度 | 法蘭上125°C（關閉電源） |
| 電源供應 | 20至30 VDC |
| 能量消耗 | 2.5 W，對于EtherCAT /繼電器/ LCD為0.8 W，另外為Profinet為1.6 W |
| 輸出信號SL | 0-10 VDC，最小10kΩ，測量范圍1.5-8.58 VDC，對數 除了EtherCAT，Profinet |
| 串列介面 | EtherCAT，Profinet，RS485：9.6 kBd至115 kBd，8個數據位，1個停止位，無奇偶校驗EtherCAT，Profinet |
| 切換輸出 | 2個繼電器，無電勢，50 VAC / 2 A或30 VDC / 2 A，60 VA，EtherCAT和Profinet除外 |
| 電氣連接 | RS485 / 0-10V：SubD，15針，公頭，RS485 / EtherCAT / Profinet：1x M12 A / 2x M12 D母頭 |
| 真空連接 | DN 16 ISO-KF（VSL53），DN 16 CF-F（VSL54） |
| 防護等級 | IP40，IP54，帶配套連接器XB15SL05 |
| 方面 | 99 x 69 x 48毫米（VSL53） |
| 重量 | 195克（VSL53） |
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